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WMZ-9190研究型硅片专用检测显微镜
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WMZ-9190研究型硅片专用检测显微镜

WMZ-9190明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头.?本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔”?的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.?

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WMZ-9190明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头.?本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔”?的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.?

硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括:?颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格.?是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.

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标准配置

目镜

大视野?WF10X(视场数Φ22mm)

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无限远长工作距离平场消色差物镜

PL L5X/0.12????工作距离:26.1 mm

PL L10X/0.25???工作距离:20.2 mm

PL L40X/0.60???工作距离:3.98 mm

PL L60X/0.70???工作距离:3.18 mm

PL L100X/0.90??工作距离:2.2?mm??(干式)

目镜筒

30?倾斜,瞳距调节范围53~75mm.?

调焦机构

粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置,微动格值:2μm.

转换器

五孔(内向式滚珠内定位)?

载物台

双层机械移动式载物台,?外形尺寸:210mmX140mm,移动范围:63mmX50mm

落射照明系统

6V30W卤素灯,亮度可调

配置黄、蓝、绿滤色片与磨砂玻璃片

内置视场光栏、孔径光栏、滤色片转换装置、推拉式检偏器与起偏器

透射照明系统

阿贝聚光镜NA.1.25可上下升降

集光镜中内置视场光栏

配置蓝滤色片与磨砂玻璃片

6V30W卤素灯、亮度可调

防霉

特有防霉系统

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系统组成

电脑型(WMZ-9190C)

1.硅片检测显微镜?2.适配镜?3.摄像器(CCD)?4.计算机(选购)?

数码型(WMZ-9190D)

1、硅片检测显微镜?2、适配镜?3、数码相机(选购)

可选配件

目镜

分划目镜10X(Φ22mm)

物镜

明场物镜?20X、50X、80X

CCD接头

0.5X、1X、0.5X带分划尺

摄像仪

USB输出:130/300/500/1000万像素

数码相机接头

CANON(EF) NIKON(F)

分析软件

二维图像测量分析软件

久久爱生产